二手 NIKON NSR 2005 i8A #9275351 待售

NIKON NSR 2005 i8A
ID: 9275351
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Wafer steppers, 8" 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper是一種集成的光刻設備,具有卓越的性能和可靠性。它是一種高精度的大型系統,可用於處理直徑不超過8英寸的晶片的步進和掃描光刻。它能產生高質量的成像,非常適合低壓和納米級器件的高級制圖。NIKON NSR 2005I8A使用兩個透鏡單元進行光刻。雙級還原物鏡用於成像具有大直徑場的晶片,而高清變焦鏡則可用於較小直徑場。物鏡提供0.9的高數值光圈和大視野。變焦鏡頭提供了一個令人難以置信的大範圍的觀察在大場可靠對準。變焦鏡頭配有高分辨率數碼相機和自動對焦功能,可用於各種波長的優越成像。NSR-2005I8A提供一流的速度和準確性。它實現了0.5微米的精細機械分辨率,憑借其先進的軸線數字化能力,能夠輕松處理大規模的叠加和配準任務。NSR 2005 I 8A具有快速、低延遲的掃描控制機器,可最大程度地減少運行過程中的粒子運動。交付工具提供高精度的重復性和低振動,使測量精度和優越的覆蓋。NSR 2005I8A Wafer Stepper提供了一系列先進的成像技術。可用於多種應用,如高分辨率顯微鏡成像、低壓光掩模檢查、納米尺度光刻和光刻。還有幾種軟件功能可用於進一步增強流程功能,包括高級優化例程和通用掩碼數據管理工具。除了成像能力外,NIKON NSR 2005 I 8 A還配備了多種安全保護功能。它具有延伸到整個視野的抗反射資產、外部真空連接端口、緊急停止開關、閉環溫度控制和內置冷卻風扇。這些特性使尼康NSR-2005 I8A市場上最可靠的晶圓步進器之一。
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