二手 NIKON NSR 2005 i8A #9351643 待售
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NIKON NSR 2005 i8A是為高級光刻工藝設計的高精度晶圓步進器。這臺機器允許開發高密度集成電路和其他先進的電子應用。它擁有先進的晶圓檢測圖像測量設備，光掩模和晶圓級的精確放置和對準，以及改進的光束輪廓，以提高分辨率和對比度。光學系統由高精度、高性能的U型折射光學單元組成。這臺機器提供了廣闊的景深、出色的分辨率和對比度。放大範圍為5x-90 x，最大數值孔徑（NA）為0.50。視場為305mm,模距為≤ 148 μ m,模距為≤ 75 μ rad。利用雙軸數字伺服控制工具進一步優化了機器的掃描性能。控制器在整個步進操作過程中管理掃描、模具配準和模具對準。資產可以精確定位放置和掃描分辨率為0.05 μ m/像素的元素。該機還配備了先進的軟掃描叠加模型。該設備允許在執行復雜的石刻工藝時進行精確的叠加對齊。系統可以將1層掩模註冊到基板的一層或多層，以確保完美的叠加精度。NIKON NSR 2005I8A專為全天候連續運行和保證可用性而設計。該單元配備了超高精度晶片級，以確保精確的運動和圖像穩定性。其溫度控制機在整個刀具中保持一致的溫度,產生均勻的圖像質量,結果可重復到0.1 μ m以內。該機器還具有集成晶圓傳輸資產，便於裝卸批次晶圓。這使得機器成為一個高效、自動化的模型，允許快速和精確的制造過程。由於控制設備的緊密集成,操作員可以密切關註他們的工作,並在需要時進行校正。綜上所述，NSR-2005I8A是一種先進的晶片步進器，在保持光刻性能一致的同時提供精度和準確性。它旨在適應復雜的制造過程,同時提供準確和可重復的結果。
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