二手 NIKON NSR 2005 i9C #9003511 待售

NIKON NSR 2005 i9C Wafer Stepper是生產半導體電路和元件的高度通用和精確的晶圓光刻設備。該機器能夠生產具有22nm線/空間圖樣分辨率的高級設備結構,一次可覆蓋8英寸的區域。NIKON NSR2005I9C Wafer Stepper采用最新的高精度圖像投影光學器件,與傳統的光刻系統相比,其分辨率和聚焦精度更高。該系統由三個主要單元組成：主控制單元、晶圓步進器和光源。主控制單元包含所有必要的軟硬件組件來控制和處理晶圓的圖像和數據。組件包括控制器、計算機、顯示器和網絡設備。晶片步進器單元包含精確定位單元內晶片所需的電機和光電子，並將其精確定位以進行光刻。它還包括一個舞臺表和一個控制器板，用於控制晶圓和光學器件的方向。光源為晶圓表面產生圖像提供了必要的光輻射。NSR-2005I9C Wafer Stepper配備了直觀的用戶界面,其中包括：用於控制機器的用戶友好圖形用戶界面（GUI）以及用於存儲、管理和控制晶圓數據的高級粒子成像數據庫。GUI還可用於手工編輯和將成像數據註入光刻工具。NSR 2005-I9C晶片步進器的設計具有高度精確和穩定的晶片級,能夠在整個光刻過程中提供平滑、可靠和精確的性能。該資產還包含一個以高端光學器件構建的先進光學模型，提供卓越的圖像質量。此外,NSR 2005 i9C Wafer Stepper還配備了高精度對準設備,可精確定位基板、對準掩模並定位晶片上的圖樣。這意味著，即使距離小於5微米，系統也能精確定位掩碼的邊緣或角落。它還具有高速驅動機構，能夠快速操作和高精度控制晶圓運動，不需要昂貴的校準。最後,NSR 2005I9C Wafer步進器設計有加熱室和先進的溫度控制系統,可以在步進器內部進行精確的溫度設置和穩定。這確保了環境和加速因素最小化，從而優化了半導體器件生產運行的質量。