二手 NIKON NSR 2005 i9C #9059235 待售
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NIKON NSR 2005 i9C是一種先進的晶圓步進器,用於微電子工業的先進半導體器件制造。該機器為標準和高級成像應用程序提供卓越的成像性能。它在所有成像模式下提供0.40 µm的最大分辨率,從而能夠打印小至0.25 µm的臨界電路圖樣。這使得它非常適合高端半導體開發制造中最先進的節點。它具備多種曝光能力,使其能夠在正面和負面的過程中產生高質量的圖像。該機的目標曝光範圍為0.6-5.6µm,跨越多次曝光通道的最大曝光範圍為0.5-5.5µm。它進一步配備了ALGIS(Auto-Level Gain Image Shifting)系統,減少了不同曝光通道中散焦和圖像大小變化的影響。與其它晶片步進器相比,該機器的設計目的是在CD(臨界尺寸)測量中提供最大精度和精度。其300 mm x 400mm的大型活動場使其能夠產生大的圖樣,提供卓越的吞吐量和成本效益。它的步長和重復速度為每步長6秒,每小時總共300張圖像。這使得它非常適合大批量生產運行。它的模塊化設計允許簡單、快速的維護和維修選項。它還可以更輕松地集成到新的或現有的客戶系統中。NIKON NSR2005I9C進一步配備了集成晶圓廠設備和系統的先進自動化技術,消除了人工操作。它還具有自動對焦和自動對齊功能,可在保持質量的同時加快生產時間。NSR-2005I9C采用降噪技術來減少運動部件產生的振動量,從而提高成像性能和精度。它還配備了雙照明,使用脈沖光源進行精確曝光。NSR2005I9C是先進半導體制造的理想選擇,滿足當今最先進節點的需求。其先進的預對準和自動校準功能確保了高工藝精度和精確度,同時還提供了更快的安裝、設置和維護。
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