二手 NIKON NSR 2005 i9C #9096010 待售

NIKON NSR 2005 i9C
ID: 9096010
晶圓大小: 8"
i-Line stepper, 8".
NIKON NSR 2005 i9C是一種高速、高精度的晶圓步進器,專為各種先進的光掩模陣列應用而設計。它是一種半自動設備,提供出色的通用系統配置。晶圓步進器在工作精度和速度方面比其他設備有幾個優點。NIKON NSR2005I9C的功能集包括一個支撐能力高達22.0英寸的光學預對準單元(OPS)和一個空氣軸承x/y/theta級,具有快速的沈降時間和5微米的最小增量抖動。這種高精度可以通過精密光學和高科技機電一體化的結合來實現。其先進的成像機提高了NSR-2005I9C的整體性能,使曝光均勻性和現場尺寸最大化。它具有快速且高度精確的多重曝光模式,可顯著提高刀具的吞吐量。此外,晶圓步進器有一個完全集成的軟件資產,允許順序,同時和混合曝光和蝕刻。該型號還配備了若幹保護環境和設備免受任何損壞和故障的安全系統。安全系統的陣列包括氣體凈化、防塵、空氣過濾和高壓差分洗滌器。NSR 2005I9C由於具有卓越的真空能力,也可用於超高真空應用。通過采用超高真空(UHV)集成設備和超低放氣型材來提高超高真空狀態,從而獲得最高性能。晶圓步進器可以連接到主機或遠程計算機,以實現額外的靈活性和易於操作。集成的遠程操作軟件通過瀏覽器界面提供對系統的完全控制。晶圓步進器也可以與其他生產工具如運單和數據庫集成。總之,NSR2005I9C是一個先進的多功能單元,旨在滿足光掩模制圖應用的需求。配備高精度光學和機電一體化、先進成像機、多種安全系統、超高真空能力,提供優異的刀具性能。此外,晶片步進器可以連接到主機或遠程機器,以獲得額外的靈活性和易於操作。
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