二手 NIKON NSR 2005 i9C #9096011 待售

NIKON NSR 2005 i9C是一種先進的晶圓步進設備,具有驚人的速度、精度和精度。這種步進系統旨在幫助用戶在半導體基板上產生嚴格的光刻圖像。要啟動,NIKON NSR2005I9C具有5軸運動控制模塊,用於沿X、Y和Z軸的超精確運動,以及旋轉和第三軸傾斜。這些運動提供了最佳的精度和允許快速基板對準.該設備還擁有高速CCD圖像傳感設備，提供高分辨率的全幀EDWS（邊緣檢測和晶圓掃描）。這允許精確的邊緣識別和晶圓分析，同時還可以同時掃描整個基板，以確保高精度。NSR-2005I9C利用各種特殊鏡頭來確保曝光場的高精度定位。它還使用高分辨率的運動控制機在X、Y、Z軸上實現超精確的運動，實現精確的位置控制。這種步進器工具還配備了查克快門機構（Chuck Shutter Mechanism，CMS），用於精確的快門控制，消除了任何可能導致光源距離不準確的傾斜變化。NIKON NSR 2005I9C還具有先進的穩定技術,如用於超精確曝光放大控制的主動層穩定（ALS）和用於精確層邊界定位的逐層固定（LBLF）。該資產還利用AMRC技術，消除了手動對準的需要，大大簡化了制作精確光刻圖像的過程。NSR 2005 i9C還具有多點加載模型,可用於一次加載多個晶片,從而提高吞吐量並減少等待時間。此外,它還提供自動光束快門、低壓/低溫曝光（LLTE）和加熱級門（HSD）等選項,提供額外的靈活性和性能。總體而言，NSR2005I9C晶片步進設備是一種令人印象深刻的設備，能夠提供極其精確、精確和快速的光刻圖像。其5軸運動控制模塊和高分辨率運動控制系統確保超精確的曝光放大、層定位和快門控制，而其AMRC技術、Multi-Point Loading單元和附加選項則提供了進一步的靈活性和提高吞吐量。