二手 NIKON NSR 2005 i9C #9096012 待售

NIKON NSR 2005 i9C Wafer Stepper是一種高精度的半導體光刻設備,用於創建集成電路和微觀電子元件。由NIKON Semiconductor Solutions開發制造，提供高吞吐量和極低成本的模式，具有無與倫比的模式捕獲精度和位置精度。NIKON NSR2005I9C具有極高的曝光分辨率,其動態範圍為1/1000nm。它提供了一個opto-mechanical鋸齒校正協議，減少在有效和穩健nyquist采樣模式失真。晶片級配備了先進的動態研磨和整體式、無幹擾對準系統，以及保證完美光學對準的集成環搜索單元。該i9C還提供獨特的「納米跟蹤」技術，使機器能夠用於極端放大成像。NSR-2005I9C具有2K和4K鏡頭組件4K和6K少的圖樣,能夠10nm的分辨率,並配備392nm的ArF氘燈和k準分子激光器。這種半導體光刻工具具有0.5nm級的位置和焦點可重復性。其獨特的配置允許不同的掩碼級別,並提供了一系列全面的多層過程,如抗蝕劑、提升和單層抗蝕劑。這種光學是離軸的，四級二進制光學資產和直接寫入技術提供了多種優化技術來滿足不同的需求。NSR 2005I9C還具有一套自動化的計算機控制選項,使用戶能夠縮短周期時間並優化模型吞吐量和準確性。此外,CCD攝像機連接到設備處理器,使用戶能夠即時訪問關鍵數據,例如標線和字段大小。該系統還有一個熱擴散器和一個氣體模塊，以幫助減少汙染。總體而言,NSR 2005 I 9 C晶片步進器是一種高度精確和可靠的半導體光刻設備,適用於創建具有前所未有的分辨率、精度和吞吐量的圖樣。其獨特的特性，如先進的動態研磨和整體式、無幹擾對齊機、離軸光學以及自動計算機控制功能，使其成為業界最佳的晶圓步進器之一。