二手 NIKON NSR 2005 i9C #9096013 待售

NIKON NSR 2005 i9C是為高精度光刻應用而設計的晶圓步進器。晶片步進器利用先進技術，在晶片或基板上精確地創建高分辨率圖像。NIKON NSR2005I9C能夠在一次拍攝中執行多個功能，包括曝光、對準和烘烤。憑借其高速成像能力和獲得專利的「真空」成像頭，i9C能夠以精確、可重復的方式準確地產生亞微米分辨率模式。該i9C由成像頭、照明設備和可移動光束輸送機構三個主要組成部分組成。成像頭包含一系列可微調的透鏡，可以在廣闊的視野中提供精確的亞微米分辨率。照明系統包含透鏡、二色濾鏡和其他光學器件，為樣品提供均勻、低失真的照明。最後，光束傳遞機構利用精確的電機控制，快速地將成像頭從晶圓的一個區域移動到另一個區域。該裝置能夠在500 mm x 10mm的面積上提供亞微米分辨率。晶圓尺寸可以很容易地改變，以適應各種工藝要求，僅受成像頭尺寸的限制。步進器設計為可配合各種抗性遮罩水平，並可容納廣泛的波長範圍（193nm至248nm）。此外，該i9C還能夠對具有選擇性沈積機理的三維結構進行建模。NSR-2005I9C提供了許多降低復雜性和提高性能的選項和功能。這種晶圓步進器獨有的是一種內部圖像處理機，它大大減少了設置/調整時間。先進的運動控制工具與高速成像區域探測器相結合，確保了準確的配準和可重復的CD結果。可選的真空夾具可自動進行放置、定心和對準,從而加快處理速度並提高吞吐量。NSR2005I9C是一個可靠、精確的晶圓步進器。它能夠準確地產生具有高均勻性、重復性和吞吐量的亞微米分辨率模式，使其成為晶圓生產的理想解決方案。憑借直觀的Interface和多種高級功能,它可以使復雜的光刻任務更簡單、更快、更精確。