二手 NIKON NSR 2005 i9C #9195895 待售

NIKON NSR 2005 i9C是一種晶圓步進器，用於半導體制造和極紫外光刻應用。它是一種提供高吞吐量、準確性和可靠性的最先進的設備。步進器由級、光頭和集成控制系統組成。該級由三個線性運動（X、Y和Z方向）組成，並配有一個內置的微米，用於精確和精確的運動控制。該級還包含用於監視晶圓位置和載荷/卸載操作的多個傳感器。光學頭由高分辨率成像單元和高功率紫外線激光光源組成。成像機由主鏡頭、成像鏡頭、自動對焦工具、舞臺瞄準資產和光束對準裝置組成。紫外線激光光源提供高度均勻和強烈的紫外線光束，確保精確的光刻成像。集成控制模型由許多先進的數字控制器組成，包括基於PC的控制器、基於PC的評估設備和步進控制器。這些控制系統一起用來自動化和控制平版印刷過程的各個階段，包括舞臺運動、曝光、開發、蝕刻和電鍍。歸根結底,NIKON NSR2005I9C是一種先進可靠的晶圓步進器,可為半導體和EUV光刻應用提供高吞吐量、高精度和長期可靠性。