二手 NIKON NSR 2005 i9C #9236389 待售
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NIKON NSR 2005 i9C是一種緊湊、高性能的晶圓步進器。對於需要卓越性能和效率的全球行業來說,它是一個經濟高效的解決方案。這種晶片步進器是為了滿足分辨率、精度、速度和吞吐量的先進要求而開發的。適用於廣泛的PMIC器件制造工藝,包括邏輯、高速和模擬。NIKON NSR2005I9C采用全自動晶圓傳輸設備設計,可實現自動化和一致的晶圓吞吐量。晶片支架設計為一次最多可容納9個600mm晶片,從而實現高效運行和高吞吐量。這臺機器具有10倍激光成像,分辨率達到1.2um,線條和空間精度達到1.5um。為了獲得更高的表面精度和更高的均勻性,NSR-2005I9C采用了平整系統以及邊到邊的非接觸掃描機構。該晶片步進器包括一個直列光刻模塊,可用於曝光和開發晶片。它還配備了直列式背面檢查能力,允許對暴露的晶片進行質量控制。NIKON NSR 2005I9C能夠以每小時250晶圓的速度提供生產質量。該單位提供優良的操作環境,詳細的追溯條件和監測能力。它還提供了極好的靈活性,兼容性和獨立控制晶片的最大400mm的直徑和高達9pt的自由定位漂移控制。最後,NSR 2005 i9C配備了可靠且用戶友好的控制機器,能夠提高生產和性能。該晶片步進器還包括特殊的實時操作工具,以及用於高質量控制的計量和分析軟件。總而言之,NSR 2005 I 9C提供動態性能,以提供經濟高效、可重復和可靠的設備制造過程。
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