二手 NIKON NSR 2005 i9C #9239576 待售

NIKON NSR 2005 i9C
ID: 9239576
晶圓大小: 6"
優質的: 1993
i-Line stepper, 6", 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i9C晶片步進器是一種高度先進的自動化晶片處理設備,旨在提高半導體器件開發的精度和生產效率。它提供精確的對準和旋轉控制與兩個獨立的,受控的運動軸,允許復雜的圖案在晶圓表面上精確蝕刻。此外,步進器還具有內置的編程接口,即使是最復雜的設備設計,也可以方便地進行設置和操作。NIKON NSR2005I9C具有高效、強大的光刻系統。其先進的光學元件由三個球面透鏡組成,提供精細的對焦控制和均勻的曝光覆蓋。它還促進了一種共享鏡頭算法,以優化每種照片模式的曝光,從而提高產量。此步進器還提供了小於0.3 nm的最大對準分辨率,確保了極高的精度性能。特殊的快門單元允許在整個晶片上均勻曝光,降低了手動曝光補償的復雜性。NSR-2005I9C具有強大的設計,能夠承受可重復、高精度的處理操作。它的諧振掃描儀和緊湊的底座可以防止操作過程中的微振動,其內置的熱補償可以補償可能發生的任何熱漂移。此外,步進器還提供了一種安全的處理機制,用於從晶片級安全裝卸晶片。高吞吐量步進器提供高達每小時30晶圓的速度,其整體設備效率(OEE)大於90%。它具有工廠自動化解決方案,可與潛在的外圍設備集成,實現自動化維護。內置光刻工藝監測器有助於盡早檢測工藝變化,其基於算法的庫提供了一種高效的校準機。NSR 2005-I9C是業界領先的晶圓步進器,提供令人印象深刻的準確性和生產率。其先進的光刻工具和熱補償為創建高質量、錯綜復雜的器件提供了一個可靠的平臺,使其非常適合半導體器件的開發。此外,它的USB數據框架和易於設置的接口允許快速和易於操作,其OEE確保高收益的結果。
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