二手 NIKON NSR 202A #9210121 待售
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ID: 9210121
Stepper
Specifications:
Resolution: ≦ 250 nm
NA: 0.60
Exposure light source: KrF excimer laser (248 nm wavelength)
Reduction ratio: 1:4
Exposure field: 25 × 33 (mm)
Alignment accuracy (EGA, |M| + 3σ): ≦ 45 nm.
NIKON NSR 202A是一種全自動晶片步進器,設計用於高精度和可靠的半導體晶片處理。它是下一代晶圓步進器,具有緊湊的模塊化設計,可實現最大的工作流效率。NSR 202A具有視覺設備,能夠高效、準確地處理大型晶片。它采用高精度的高分辨率2K CCD透鏡陣列,可以檢測每個晶片上的單個圖樣和特征。步進器還利用先進的光學系統,確保無與倫比的精度和速度來曝光晶片。NIKON NSR 202A具有創新的鏡頭單元,使機器能夠以不同的放大倍率對晶片成像。這臺機器還允許最大程度地靈活設置和對齊,使機器能夠適應不同晶片的芯片布局變化。該機還具有提供可重復晶片定位和提高精度的自動對焦機構。此工具可確保每次都有一致的芯片陣列和曝光。NSR 202A具有集成的曝光控制資產,可以精確控制您的流程。此模型提供了穩定的工作環境,並為各種應用程序提供了高級陣列技術。該機采用模塊化設計和高速處理器,以實現業界領先的性能。它采用獨特的單間設計,有助於降低設備成本,同時提供安全的工作環境。此外,NIKON NSR 202A利用高級軟件體系結構,使各種應用程序易於編程和控制。它易於使用的圖形操作員界面允許高效直觀的設置和操作。NSR 202A是業界領先的晶圓步進器,旨在充分利用半導體制造工藝。其先進的特性和精密光學為生產高精度晶片提供了強大而高效的途徑。NIKON NSR 202A具有模塊化設計和集成的曝光控制設備,是任何晶圓處理應用的理想工具。
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