二手 NIKON NSR 204B #293591907 待售

NIKON NSR 204B是一種垂直軸晶圓步進器，設計用於精確光刻加工直徑達8英寸的半導體基板。這種最先進的步進器配備了自動對準和校準系統，以確保所有光刻工藝的精確度、可重復性和可靠性。它還提供了雙重曝光源，允許軟性和硬性紫外線光源。NIKON NSR-204B配備了專門設計的Coherent Nuvo Aligner （CNA）。CNA采用三維模式測量技術，自動掃描晶圓，確保與所需模式對齊。其先進的控制設備允許精確控制暴露，包括暴露時間和暴露水平。這樣可以確保準確和可重復的過程參數,從而提高設備產量。步進器具有先進的步進級和階段移動指揮系統。步進器的級定位單元使用直接驅動電動機和絕對軸線性編碼器，以確保精確的運動，以及在所有進程中的可重復性。步進器的舞臺移動命令機允許在多個階段之間同步運動，允許晶圓上的模式和結構精確對齊，而不會影響分辨率。NSR 204B使用高功率KrF準分子激光器在晶圓上提供均勻的曝光。激光工具基於離子輔助沈積，這是一種用於確保在敏感的半導體過程中不會造成偽影的均勻清潔薄膜的技術。資產還使用智能對象識別模型（SORS）來準確識別對齊軟件中的對象並允許精確定位。NSR-204B符合所有行業標準的環境要求,並符合JEITA環境準則。這為用戶提供了在無塵環境中最可靠的操作。總體而言,NIKON NSR 204B是光刻過程中可靠而強大的晶圓步進器。它配備了先進的自動化對準、校準和曝光系統，以確保精度和可重復性，並提供出色的產量和效果。NIKON NSR-204B具有高效、準確的工藝參數,是高效、高批量、高質量生產的理想選擇。