二手 NIKON NSR 204B #293628542 待售

NIKON NSR 204B是NIKON Corporation制造的晶圓步進器，用於半導體工業。它有一個4英寸的晶圓步進器，晶圓尺寸為3英寸、4英寸和6英寸。NIKON NSR-204B設計用於半導體生產過程,如蝕刻、光刻、檢查和掃描。NSR 204B配備了一個20毫米圓形掃描透鏡，允許在晶圓的整個表面上曝光光刻膜。NSR-204B的動態精度為60納米，曝光時間僅為1秒。它具有雙渦流驅動設備,可減少掃描振動,並對快速掃描速度和移動提供高響應。NIKON NSR 204B專為高重復性而設計，最大模糊區為2微米。它具有6微米的圖樣精度，具有平坦的表面，以確保圖樣曝光的高精度。NIKON NSR-204B還具有高效的防反射塗層，以最大程度地減少反射率，最大程度地減少因幹擾而造成的曝光損失。NSR 204B配備了電動狹縫掃描系統，為狹縫掃描曝光提供高精度和穩定性。無論由空白晶片和切割曝光晶片重叠形成的圖樣類型如何，切割曝光精度都保持不變。狹縫掃描速度為每秒1微米，而切割曝光速度為每秒5微米。NSR-204B由NCU 2000 CNC數據接口單元控制,該單元能夠控制其曝光過程、晶圓運動、速度和定位。它有一個自檢機器，可以在監控掃描鏡頭位置和速度、曝光參數設置和資產性能的同時識別潛在的刀具不規則性。NIKON NSR 204B設計方便維護,可快速更換。所有零件都是為方便檢查和維護而設計的。NIKON NSR-204B還具有防止意外斷電時晶圓曝光的安全功能。它還具有自動校準功能，用於曝光精度和晶片的超聲波清洗。