二手 NIKON NSR 204B #293805264 待售

NIKON NSR 204B
製造商
NIKON
模型
NSR 204B
ID: 293805264
Stepper.
NIKON NSR 204B是一種多場、高精度微光刻步進器,專為在晶圓上集成光學而設計。NIKON NSR-204B提供了廣泛的高分辨率步進能力,如先進的多場對準和焦點控制,高吞吐量和可重復性,並確保了生產復雜半導體器件的準確性和產量。NSR 204B的高級對齊系統通過在大面積上對齊多個字段,提高了精確的運動和跟蹤精度。它還提供快速的位置感測和對準校正,以確保設備以準確、可重復的方式放置。此外,NSR-204B在曝光期間提供自動聚焦前饋和焦點控制功能,從而可以在整個晶圓曝光期間精確控制焦點水平。NIKON NSR 204B還提供了一個高通量、可重復的高級晶圓曝光過程。其高精度的3軸線性示蹤器和光機編碼器提供精確的晶圓跟蹤和精確的場對準。此外,步進器還提供獨特的多場曝光模式,使大型晶圓尺寸能夠並行曝光,同時還提供高速掃描機制,可將曝光時間縮短30%。此外,NIKON NSR-204B還提供高級計量功能,例如離軸臨界尺寸測量和缺陷檢查。它的自動調節程序允許設備形狀和尺寸的優化,而其先進的光學系統則確保了精確的圖樣放置和高分辨率成像。它的自動化曝光優化系統還允許對曝光參數進行實時監控,以確保晶圓準確快速曝光。總體而言,NSR 204B是一種高精度的微光刻步進器,專為集成晶片上的光學器件而設計。其先進的特性和能力保證了精確和可重復的晶片曝光,為微加工提供了可靠和經濟高效的解決方案。
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