二手 NIKON NSR 204B #9350967 待售

NIKON NSR 204B是一種半導體光刻工具，用於制造集成電路及相關產品。它用於將圖樣傳輸到材料的晶片上，從而可以定義集成電路中的電子特性。NIKON NSR-204B基於NIKON NSR-S203B Step and Scan設備。它是一種先進的成像系統，采用二維（2D）對準透鏡和照明單元，通過光學機器對標線上的掩模圖樣進行成像。該儀器是NIKON S203B的改進版本,具有改進的分辨率、對準精度和吞吐量。它比NIKON S203B具有更高的吞吐量，這使得在制造集成電路時可以有更快的處理時間。NSR 204B工具包括掃描儀、對準和照明（A&I）頭、標線級和標線級以及光學。掃描儀具有標準的光學布局，由標線、標線對準透鏡、標線位置監視器、波長世界掃描CRT和投影透鏡組成。掃描儀可以處理多個標線，允許一次多次曝光。「對齊和照明」（Alignment and Illumination） （A&I）頭包含鏡子、透鏡以及用於投影和照亮標線圖案的多個光源。透鏡用於將光以特定圖樣聚焦到標線上。鏡子可以針對特定的照明角度傾斜，從而確保圖案的精度。標線級用於投影透鏡上標線的安全放置和精確對準。使用激光設備監測和控制標線的位置。NSR-204B光學包括像差校正投影透鏡和場平整棱鏡。投影透鏡用來對晶片上的標線圖案進行成像。磁場展平棱鏡用於展平磁場以消除成像過程中的任何像差。NIKON NSR 204B可以處理多種晶圓尺寸，直徑從6英寸到8英寸。它還具有低溫環境，允許卓越的圖像完整性和處理速度。總體而言,NIKON NSR-204B是一種高精度光刻工具,可處理各種晶圓尺寸,並提供出色的分辨率、吞吐量和對準精度。是生產集成電路等相關元件的理想選擇。