二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9201722 待售

NIKON NSR 2205 EX12B是一種掃描電子顯微鏡（SEM）步進器，能夠精確成像用於研究和工業應用。該工具適用於各種圖樣生成，如光刻、蝕刻和濺射以及模具塗層工藝。該裝置在一次掃描中對整個區域施加電子束而不會中斷。3.2英寸晶圓的最大分辨率為0.80 µm，4-8英寸晶圓的最大分辨率為1.25 µm。此外，該機還配備了可調整到所需角度的背面檢測系統和圖像投影光學器件。步進器的步進器尺寸為650mm x 500 mm，掃描面積為610mm x 480mm。它配有一大片視野，可用於一次大面積的檢查，有助於加快檢查過程。它的晶圓曝光時間僅從3.2秒開始，隨著連續曝光而縮短。步進器配備了AutoFocus（AF）設備，根據樣品高度自動調整光束聚焦。這樣可以對樣品進行精確的對準和成像。步進器還配備了自動束停止（ABS）系統，在曝光完成時自動停止電子束，確保準確的曝光時間。NIKON NSR-2205EX12B還具有高效的反射器單元，可產生快速的孔徑變化和高分辨率，從而進一步優化成像性能。此外，它的12軸對準微步進電動機加上晶圓級提供了極好的精度和重復性。步進器還配備了專用的診斷機器,可用於質量保證測量。此步進器設計為高度用戶友好,使用戶能夠選擇各種應用程序配方並輕松更改它們。該設備還提供了模式對齊和匹配工具,用於相對於標尺定位樣本以實現精確定位。此外，NSR2205具有較高的數據處理速度，允許晶圓生產過程中連續運行。綜上所述,NSR-2205 EX12B是一個可靠且用戶友好的SEM步進器,可提供精確的圖像和精確的對齊方式。NIKON NSR 2205EX 12 B具有高分辨率和快速數據處理功能,是研究和工業應用的理想工具。