二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9225912 待售
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NIKON NSR 2205 EX12B是為大體積光刻應用而設計的下一代晶圓步進器。NIKON NSR-2205EX12B提供了前所未有的分辨率和精確度來成像各種底物，包括矽、石英、GaN和聚合物。± NSR-2205配備12束光學設備和可擴展的上、下級設備,具有8nm的高步進和重復精度,EX12B能夠生產業界領先的70 nm特性尺寸的晶片。NSR 2205EX 12 B的高精度成像能力是由獨特、獨立的準分子激光系統實現的，該系統產生12束光束圖樣並允許單次曝光。該裝置還提供了18mm x 18mm的寬曝光場和強大的線掃描機制，每小時最多可容納8000個晶圓。此外,NSR 2205 EX12B還采用了新開發的全場光刻（FSL）算法,使用戶能夠通過單一掩模協商各種布局元素,以實現業界領先的生產率和成本降低。NSR-2205 EX 12 B還提供了一個創新的圖像去定位機，它允許平行曝光和短波長曝光，使低對比度的圖像在廣闊的領域。這項創新還有助於糾正嚴重的失調,提供精細的分辨率和更高的準確性。此外,NSR 2205 EX 12 B配備了新開發的校正濾波器,該濾波器使用先進技術,如衍射光柵和在光場上具有恒定強度的成像。對於先進的生產,NIKON NSR-2205 EX12B具有集成的缺陷檢測和檢查工具以及無CCD對齊資產。集成檢測模型自動處理噪聲或損壞的圖像區域,並調整曝光以獲得最佳圖像質量,而CCD-Free對準設備可補償掩模未對準和晶圓放置,從而提供高度精確的曝光場。NIKON NSR 2205 EX 12 B還提供了集成的操作監控和支持系統，使用戶能夠利用強大的高級功能和能力，包括曝光時間和掩碼管理和優化、高級數據分析、圖像增強和失真校正、產量改進、缺陷管理等。總體而言,NIKON NSR-2205 EX 12 B是下一代晶圓步進器,具有12束光學單元、單通曝光能力和集成缺陷檢測和檢測機,可提供卓越的分辨率和準確性。NIKON NSR 2205EX 12 B提供了一個功能強大、高度復雜的平臺,允許用戶最大限度地提高效率和生產力,同時降低成本。
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