二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9238472 待售

ID: 9238472
晶圓大小: 8"
KrF Stepper, 8" Resolution: 280 nm.
NIKON NSR 2205 EX12B是一種高速先進步進設備,設計用於制造先進節點半導體器件。它是NIKON開發的NSR-S202X系列步進平臺的一部分。該系統配備了多種功能,以確保對步進過程的精確控制。該單元利用KrF準分子激光器進行精確的非接觸對準。這允許精確的運動和圖案的光刻。激光還可以在更大的特征尺寸上提高精度。該機還具有Cool Step降壓技術,將步進電機電壓降低高達50%。這樣可以確保低振動和更精確的模式。NIKON NSR-2205EX12B有一個原位晶片級,允許將晶片掃描到更高分辨率的設置。這樣可以減少特征大小並提高準確性。另外還有一個200,000射擊自動對準工具,可自動對準所有12 B步進步驟。資產帶有高精度的外緣對準模型,允許精確對準光刻工藝。該設備還具有現場階段安全掃描功能,可檢測任何不規則模式。NSR-2205 EX12B還配有各種鏡頭選項。這包括NIKON Optical Design and Imaging軟件,它允許優化和減少高分辨率的光學設計。該系統專為工業用途而設計,並配有一系列可選配件。其中包括高速和高精度掃描策略以及高級控制面板。此外,NIKON還為該部門提供專業的客戶服務和技術支持。NIKON NSR-2205 EX 12 B步進器提供了廣泛的先進特性和技術,以提高精度和效率。適用於多種大批量應用和技術。該機提供對光刻工藝的精確控制以及高精度對準和掃描能力。此外,該工具還配備了一系列鏡頭選項和各種配件。因此,它是各種先進節點半導體器件制造應用的理想選擇。
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