二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9251032 待售
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單擊可縮放
ID: 9251032
Stepper
Resolution: 280 nm
TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 Coater / Developer system included
Inline left
Wafer specification: Φ8 Orientation flat
Wafer chuck: NIKON Genuine holder
Reticle specification: NIKON Cassette, 6"
PPD
CYMER ELS-5410 Laser.
NIKON NSR 2205 EX12B晶圓步進器是一種先進的半導體光刻工具。該工具以其高精度和可靠的成像性能而聞名。它是一種非常可靠的機器,非常適合半導體工業的大規模生產,需要快速而又高的重復效果。它由兩個組成部分組成;裝有光學元件和可交換光學柱的主單元。主機組具有多種高端特性,如環境溫度範圍為16-30C,濕度範圍為15-80%。機櫃還采用內置電動層流凈化設備和冷卻系統進行自動清洗。除此之外,主機的尺寸為804x1110x1579mm,重量約990kg。可交換光柱采用功率變焦裝置,提供高分辨率成像,是先進芯片制造的理想選擇。它利用電子倍增器質譜儀技術,使用戶能夠精確測量劑量。柱上裝有實心場透鏡機,產生具有卓越均勻性的圖像,從而提高了曝光均勻性。該柱還包括一個隔振工具,以減少振動幹擾。此外,NIKON NSR-2205EX12B還提供多種對準功能,例如寬視場成像和自動鏡頭對準資產。它還具有先進的成像能力,如可變曝光時間、可變曝光分辨率、可變曝光速度和可變曝光劑量。曝光光源可以從窄帶HE或Xe準分子激光器中選擇。總之,NSR-2205 EX12B是需要精確、高可重復性和可靠結果的先進芯片制造的絕佳選擇。憑借其高端功能、曝光能力和先進的對齊系統,它非常適合大型生產應用。
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