二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9356972 待售

NIKON NSR 2205 EX12B
ID: 9356972
KrF Stepper.
NIKON NSR 2205 EX12B Wafer Stepper是一種用於半導體相關制造工藝的最先進的高端晶圓stepper。憑借先進的激光優化光學投影設備和精確對準能力,NIKON NSR-2205EX12B被設計為在光刻、光刻開發、關鍵生物和化學基板、光阻模式開發等關鍵半導體生產步驟中提供最高分辨率、精度和準確性。NSR-2205 EX12B是具有12英寸(305毫米)投影面積的直驅步進器。其數值孔徑(NA)額定值為0.70,並且改進了光學設置,產生比傳統系統更高分辨率的光刻圖樣。該表在光學上對齊,並提供精確控制的運動,從而實現更精確的對齊和一致的批處理精度。對鏡頭系統進行了微調,以獲得最大的穩定性,該單元可配置用於雙激光照明,以實現微調和小特征。NIKON NSR 2205EX 12 B能夠產生最大線寬0.5微米的高分辨率圖像。這是通過結合使用新的標線精度改進單元實現的,該單元提高了舞臺精度並改進了掃描儀控制機器。這種掃描儀控制工具能夠處理多個叠加,這有助於防止光掩碼對準錯誤並提高叠加的可重復性。NSR-2205 EX 12 B還擁有一個完全統一的24位顏色輸出面板,具有超穩定的4,000級灰色級別。這樣可以比傳統的晶片步進器更好地識別圖樣,並能夠更快、更高效地繪制平版印刷圖樣。該單元還具有復雜、用戶友好的菜單驅動圖形用戶界面(GUI),為操作員提供快速、方便地訪問關鍵命令和設置,從而提高工作效率。綜上所述,NIKON NSR-2205 EX12B是一種高端、精密的晶圓步進器,是任何半導體或微加工工藝的理想選擇。其改進的光學性能、先進的激光優化投影資產和精確的對準能力確保了卓越的準確性、分辨率和可重復性。
還沒有評論