二手 NIKON NSR 2205 EX14 #9243870 待售
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NIKON NSR 2205 EX14是一種晶圓步進器,旨在滿足半導體工業中光刻制造工藝的高精度定位要求。它能夠以無與倫比的精度和速度在半導體晶片上產生光刻圖樣。NIKON NSR-2205 EX14是基於NIKON精細的光學投影結構,它使用了一個優秀的NIKON物鏡和一個在5 μ m內運動範圍平坦的舞臺。快速變化的對準系統使得在4英寸和6英寸晶片之間快速切換成為可能,而前置開放式設計確保了在短時間內輕松加載和有效對準。NSR-2205 EX 14有一個自動模式識別程序,可以自動跟蹤和糾正模式缺陷。此外,它使用先進的數字信號處理系統,以確保準確性,減少完成光刻工藝所需的時間。NIKON NSR 2205 EX 14配備高精度8軸級和快速對焦能力。這提供了高精度的圖樣與最佳的焦點在廣泛的基材尺寸和技術。此外,一個獨特的註入鎖定和鏡頭系統提供低離軸鎖定力準確和穩定的長期定位。此外,NSR-2205 EX14還配備了一個多級映射程序,可以快速識別晶圓模式失準並迅速糾正。這樣可以更嚴格地控制臨界陣列特征的過程,例如線邊和線寬粗糙度。最後,NSR 2205 EX 14配備了一整套控制工具,可輕松集成到現有的制造系列中。它還能夠容納第三方軟件,如APC和AutoPC,從而實現優化的模式控制和可編程過程自動化。
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