二手 NIKON NSR 2205 EX14C #293591967 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是用於集成電路生產的最先進的晶圓步進器。晶圓步進器以其先進的特性和自動化提供了高質量的光刻技術。它采用了獨特的數字伺服電機設備，確保舞臺的精確運動。數字伺服電動機系統包括兩個線性運動軸和一個旋轉軸，允許給定圖樣的精確對準。步進器使用激光對準單元以確保與打印區域中心精確對準。步進機還有一個4軸幾何校正工具，它允許由於過程相關的電機和舞臺方差而引起的圖樣失真的校正。此資產還允許一次打印多組模式,以及可以多次重復相同模式的步驟和重復記錄方法。它帶來了更大的產能和重復性。步進器還具有最小化波紋和噪聲的低振動模型。NIKON NSR-2205 EX 14 C的激光對準設備包括兩個激光頭和兩個光束，能夠快速設置和提高吞吐量。在整個運行過程中,即使晶圓尺寸發生變化,放置精度也可以保持不變。再者，步進器裝有使用數位影像光源的高NA（數值孔徑）照明系統，可同時用於斜向和反向成像。NSR-2205 EX14C是一個可靠、高精度的步進單元，滿足當今半導體制造工藝的高需求。它利用NIKON先進的光學處理技術和細致的外殼設計，允許在這些過程中需要精確的光刻。步進器專為大批量生產而設計,利用自動化控制和最小維護來實現最大吞吐量和最小停機時間。