二手 NIKON NSR 2205 EX14C #293603626 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是一種先進的紫外線（UV）晶圓步進光刻設備，設計用於生產用於各種半導體制造工藝的集成電路（IC）。該系統結合了先進的光學和精確的運動控制技術，將圖像精確投影到晶片上。設備的分辨率和準確性保證了晶片上印刷特征的精確對齊。NIKON NSR-2205EX14C是一種多功能的高端晶圓步進機,非常適合廣泛的應用。NSR-2205 EX14C Wafer Stepper配備了一個工具組件,即NSR-S307E系列還原投影光學元件,其中包括一個經過光學校正的4倍還原光學資產。這提供了從特寫到無窮遠的出色圖像質量，圖像長寬比為1：1。光學模型包含一對旋轉對稱透鏡，一個用於對象，一個用於圖像。透鏡是光學校正的非球面，減少像差，提供高質量的圖像。它利用NIKON電子外殼系統（NEHS）提供了步進設備布局和控制的獨特方法。NEHS為半導體晶片的曝光提供了剛性框架，減少了晶片的經度，使晶片表面能夠精確的真空通風和維護。該系統還采用了最新的NIKON圖像監視器單元（IMS），無論透鏡和機器元件位移、溫度和氣體成分如何，它都能在晶圓表面上保持精確對齊的圖像。NSR 2205 EX 14 C采用高精度刀具控制器,可確保高定位精度。這一雙中央處理器資產能夠每秒處理多達1,000個電光命令,提供極高的響應速度和準確性。步進器還配備了NIKON Scaling Drive Model （SDS），它允許設備的成像精度與各種光刻工藝的設計規格相匹配，包括超細線寬應用。NIKON NSR 2205 EX 14C具有加工直徑可達200毫米的基板的能力。它采用氮冷真空冷塊和加熱LED曝光源設計，工作波長範圍為365nm至435nm。它的DLT（Dual Lithography Table）有兩個表，能夠以每小時30個晶圓的速率進行晶圓交換掃描。總之，NIKON NSR-2205 EX 14 C是先進的紫外線晶片步進系統，具有最先進的光學單元、最新的控制系統和高精度的處理能力。它是需要超細線寬的光刻應用的絕佳選擇，提供卓越的圖像質量和準確性。