二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9085237 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是NIKON最先進的晶圓步進器,非常適合各種半導體工藝。EX14C模型提供了高分辨率、準確性和高吞吐量性能的獨特組合。步進器的分辨率為0.1微米，能夠支撐最先進的光刻和檢測過程。高分辨率還可以確保特征大小的元件能夠準確定位和穩定的空間關系。步進器裝有一個6英寸的晶圓室，能夠支撐直徑達200毫米的晶圓。機器的最高工作溫度為80℃，確保小、易碎、復雜的零件能夠高精度生產，不會損壞。晶圓步進器有八級多軸設備，並利用四個直線電動機來保證運動的精度和精確度。系統在X和Y軸上以1 μ m的增量移動步進器,從而可以精確地操作要步進的晶片。該EX14C還配備了帶5元鏡頭的分段CCD相機，可實現步進模式的高精度采集和成像。NIKON NSR-2205EX14C還配備了支持整個光刻工藝的強大軟件套件。此軟件使用戶能夠快速準確地設置光刻作業,並使他們能夠從遠程控制面板監視和控制步進器。軟件還包括用於數據日誌記錄的集成數據采集模塊和用於配置陣列作業的單元內作業編輯器。此外,NSR-2205 EX14C晶片步進器能夠與幾種不同的系統集成,包括自動晶片處理功能。該機器可以使用多種行業標準的機械臂，使晶片的裝卸過程容易得多。此功能對於高容量、高精度的制造過程特別有用。總體而言,NSR 2205 EX 14C是一款功能強大且精密的晶圓步進器,非常適合半導體行業中的精密光刻工藝。步進器小巧、緊湊的設計、高分辨率和集成的工具使用戶能夠以高精度和精確度創建錯綜復雜的部件,同時仍能保持高吞吐量。