二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9157720 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是用於加工晶片的晶片步進器。此設備為生產環境提供了高級光刻功能,有助於最大限度地提高吞吐量,同時將生產成本降至最低。NIKON NSR-2205EX14C使用工作距離短的G線光學系統，以實現多功能性和高分辨率成像。這種步進器還具有5步劑量控制，允許最大覆蓋精度和速度。NSR-2205 EX14C可以容納尺寸從4英寸到8英寸晶圓的大型基材，具有4英寸的最小特征尺寸。它配備了0.10 μ m的超高分辨率,提供了出色的場邊均勻性和出色的不同圖案的叠加對齊。對於局部陣列,此晶片步進器帶有多場陣列功能,允許對具有不同參數的多個字段進行陣列化。在其硬件方面，NIKON NSR 2205EX 14C帶有靜電卡盤和改進的抗振級，用於處理重型基板。對焦記憶體儲存鏡頭位置快速，以實現高速操作，而抗振級則允許高速模式化。為了進行額外的控制,此裝置還具有防反射塗層和內置的空氣軸承主軸,以實現更精確的定位。在生產效率方面,NIKON NSR 2205 EX 14C是為高效運行而設計的,4英寸晶圓的循環時間低至1.3分鐘。該裝置帶有內置諧波補償模式，以減少晶圓紡絲機構引起的振動效應。此外,晶片步進器為用戶提供了自動化的維護和監控功能,使您可以更好地控制生產過程。總體而言,NSR 2205EX 14C是生產環境中理想的晶圓加工工具。其先進的光刻特性和超高分辨率成像可實現最高的精度和準確性。這種晶圓步進器以其長工作距離的G線光學系統、多場模式的特點和高效的操作，有助於最大限度地提高吞吐量和降低成本。