二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9192103 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是一種5英寸步進投影對齊器，可用於多種微加工應用。它被設計成在半導體、光掩模和微器件晶片上精確、重復的圖樣特征。NIKON NSR-2205EX14C有5英寸的投影面積，最多可處理6英寸晶圓。它可以以各種放大倍率運行，並提供高達0.25微米的分辨率。該機器能夠覆蓋多達四個不同的成像通道，以提高吞吐量和靈活性。它還具有開槽的靈活性，從而能夠適應晶片中的處理不規則性。NSR-2205 EX14C具有光束遮擋設備,有助於確保精確對準。它還具有抗反射塗層，以減少失真。該系統采用高分辨率、長波長激光幹涉測量裝置（LIS）測量基板位置，精度為0.1微米。該機包括一個由壓電執行器驅動的舞臺，提供了高精度和重復性。它還包括一個Rastek-G氣態伺服工具，能夠在不抖動的情況下對舞臺進行精細定位調整。NSR 2205 EX14C利用直線電動機進行快速加速度和減速,以及高度精確的位置檢測。每小時最多可處理10,000個晶圓，吞吐量為150毫米/秒。該資產包括我們專有的NIKON智能角膜對準（SCA）模型,它可以大大減少設置時間。除了制圖晶片外，NIKON NSR 2205 EX 14C還可用於各種高精度的微加工應用，如老化、沈積和蝕刻工藝。它還具有多種晶圓易掃描（WES）模式，能夠實現自動非接觸晶圓檢測和自動缺陷監測及分類。總而言之，NIKON NSR-2205 EX14C是一種非常精確可靠的步進投影對齊器，適用於各種微加工應用。它用途廣泛,功能強大,旨在滿足最苛刻的生產環境。