二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9209755 待售

NIKON NSR 2205 EX14C
ID: 9209755
Steppers.
NIKON NSR 2205 EX14C晶片步進器是一種高度先進、功能強大的光刻設備工具,為光刻工藝提供持續的操作和生產力。NIKON NSR-2205EX14C晶片步進器用於測量和曝光分辨率高達0.280微米的晶片。它使用精密光學設備,範圍從入射光學位置到24mm,對於方形晶片也可以達到14mm曝光。步進器配備了略微彎曲晶片的x2e Rotation曝光系統,以及測量晶片深度的Eureki曝光對準自動對焦單元。該機器采用超剛性多室設計,具有機械、光學和電氣子組件,性能和可靠性。其控制機以具有6軸對準和11軸對準控制傳感器的魯棒配重工具為基礎,用於晶圓的精確定位。NSR-2205 EX14C還配備了準直器資產,包括軸向掃描和橫向掃描,以實現精確的成像能力和完整的曝光模型。此外,步進器還設計了高速處理設備和較大的內存容量,以實現高分辨率的陣列。NSR-2205EX14C還有一個內置的熱控制系統,帶有加熱器模塊和冷卻器模塊,用於高效冷卻和均勻的溫度分布。步進器還建有排放控制單元,以確保清潔、無汙染的環境。此外,步進器還設計了一種自動保護塗層機,能夠保護晶片在暴露過程中免受損壞。NSR 2205EX 14 C晶片步進器是一種高效可靠的步進器,可滿足任何需要高精度成像的光刻技術。這臺機器支持高達0.280微米的分辨率、用於彎曲晶片的x2e旋轉曝光工具、Eureki曝光對準自動對焦資產、多腔室結構和高速處理模型,能夠從最新成像技術中獲得最大性能。這臺機器提供了大量的用戶便利、魯棒性和靈活性。
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