二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9247817 待售
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NIKON NSR 2205 EX14C晶圓步進器是為半導體工業的精確操作而設計的最先進的微型制造機。這種步進器被認為是最頂端的晶圓步進器,並以先進的精度和速度控制設計。NIKON NSR-2205EX14C晶片步進器具有分割場光學設備,通過五軸對準和自動對準促進精密光束定位的準確性和多功能性。它的最大曝光面積為115mm x 115mm,非常適合更大尺寸的模具應用。其5倍減小光學系統為詳細圖表提供了收縮能力。其消色差對準單元保證了晶片上非常小的圖樣的高精度,同時保持了較低的像差。在速度方面,NSR-2205 EX14C具有高達每小時140晶圓的高曝光率。其先進的機動化階段使晶片能夠快速掃描,其高速範圍切換提供了曝光和掃描操作之間的快速切換。其自動對準特性,加上其高度精確的溫度控制機,每次曝光都能提供高精度的結果。NSR 2205 EX14C配備了兩個激光對準系統,允許用戶以1nm的亞微米精度微調晶片對準。此外,該工具還集成了半自動化聚焦資產,以減少焦點錯位並優化投影質量。NIKON NSR 2205EX 14 C晶圓步進器是一種頂級型號,旨在滿足半導體行業的苛刻需求。它配備了先進的精度和速度控制,在曝光和掃描操作中賦予超高分辨率。其先進的對準系統提供了卓越的準確性和可靠性,其半自動對焦設備優化了投影質量。它的5倍還原光學系統為詳細的圖表提供了收縮能力,其消色差對準單元確保了晶圓上非常小的圖樣的高精度。總體而言,NIKON NSR-2205 EX 14 C是需要最高性能的操作的理想晶圓步進器。
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