二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9251796 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是一種晶圓步進器，設計用於正確對齊微電子電路，同時減小半導體器件尺寸。它是一種先進的浸入式光刻設備，可以為光掩模產生極其精確的圖案。該系統配備了最新的浸入式光學技術，減少了常規折射投影光學單元引入的像差。它還具有高度精確的晶片級和高端、高精度的壓電相機，以提高對準精度。NIKON NSR-2205 EX 14C的最先進的光學器件提供高晶圓通量，並具有1.35的數值孔徑（NA）。光學器件有助於確保整個視場的高度均勻性。它可以在x方向上達到10 x 10 mm,在y方向上達到6.2 um。該工具被設計成在x和y方向上具有0.6 um級重復性的高達180 mm直徑的晶片的陣列。它還具有3-15 mm的圖像聚焦範圍,適用於使用步進器或掃描儀操作的不同曝光條件。此外,NSR-2205 EX14C還附帶一個基於Windows XP的下一代用戶界面,用於控制曝光和其他參數。此用戶界面全面概述了系統暴露情況,使快速調整設置和確保準確的結果變得容易。界面還包括自動對焦、自動標線對齊、圖像校正等軟件工具。NSR 2205 EX 14C還具有內置晶圓標記讀卡器。這有助於確保正確識別刻在晶片上的部件編號,並將其安全地存儲在資產日誌中。此外,它還配備了先進的冷卻裝置,可降低內部零件溫度,提高模型穩定性和耐用性。總體而言,NIKON NSR 2205 EX 14C是一種先進的光刻設備,旨在為先進的半導體器件制造提供精確的對準和模式精度。它具有創新的成像技術、高精度的成像系統、用戶友好的基於Windows的界面以及內置的晶圓標記閱讀器。它是為邏輯門光刻和高密度互連布線等應用而設計的。