二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9273096 待售
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單擊可縮放
ID: 9273096
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
Stepper, 8"
Reticle: 6"
Reticle library: 10
Field size: 22 mm
NA Variable
Reduction ratio: 1/5
Pre alignment
CCD Camera
Particle detector type: PPD3
Wafer loader: Type 3
Multipoint AF (49 Channels)
Inline: Right (ACT 8)
EXCIMER ELS 5410 Laser
Illumination: 1 kW
FIA
No LIA
No periphery exposing
Base kit: BASEEX502-0011C
Highland type: Standard
Chamber temperature: 23°C
1999 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C是一種掃描步進器，一種用於制造半導體器件的機器。這款多合一設備配備了多種特性，使其適合晶圓曝光。專業級步進器提供高分辨率成像和低失真成像，分辨率高達6微米。它采用最新的制造工藝,旨在實現高端工藝兼容性。此外,系統先進的電機技術允許低振動和快速成像的長時間曝光。NIKON NSR-2205EX14C有兩種曝光模式：單脈沖曝光（SPE）和廣播掃描單元（BBS）。這兩種模式對於高精度生產平板顯示器和半導體器件都很有用。SPE模式提供了低至0.3微米的高分辨率，沒有焦深限制，而BBS模式則使得大批量生產晶片的曝光時間縮短。步進器還支持配方管理和編程,從而改進過程控制。該軟件提供各種工具,如作業跟蹤、重叠曝光掃描、自動曝光焦點掃描和圖像匹配。該機器為操作和維護提供了一個用戶友好的環境。它包括一個直觀的圖形用戶界面，它將編程時間最小化，並允許在晶圓曝光期間驗證步驟。此外，該工具還包括一系列智能安全功能，包括大型安全防護和電動晶片批處理程序。總體而言,NSR-2205 EX14C是一種經濟但高性能的晶片步進器,旨在為各種應用提供高級成像和生產。憑借其先進的功能和直觀的用戶界面，該資產非常適合大規模芯片生產。
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