二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9301516 待售
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ID: 9301516
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Stepper, 8"
Resolution: 0.25um
Wafer loader type: Type3, NC Pre2
Reticle, 6"
Max expose field size: 22 mm x 22 mm
Reticle library: (10) Slots
CYMER 5400 Laser system
PPD
Bar code reader
Alignment system: LSA, FIA
Inline: Left
Chamber type: Sendai S32
2000 vintage.
NIKON NSR 2205 EX14C Wafer Stepper是一種用途廣泛的光刻設備,設計用於在各種基板上精確繪制厚薄的光敏抗蝕劑層。NIKON NSR-2205EX14C配備了包括高頻掃描路徑、高分辨率投影光學、數字成像功能和綜合軟件包在內的最先進的功能。NSR-2205 EX14C的數字成像系統允許獲取圖案化抗蝕劑的非常詳細的圖像。這是使用先進的激光曝光和激光照明技術來實現的，以確保整個陣列場的均勻曝光。該單元還包括一個復雜的掩蔽特征,它允許按照設計規則精確放置結構和其他特征。NSR-2205EX14C的高頻掃描路徑用於高速處理寬幅區域的光敏電阻。這是通過使用幾種變速電動機、舞臺控制類型伺服和旋轉編碼器的組合來實現的，這些編碼器允許在曝光期間精確定位舞臺。此外，高頻掃描路徑確保抗蝕劑在其整個長度上均勻暴露，且失真最小。NIKON NSR-2205 EX 14 C還配備了一個極高分辨率的投影光學機器，可以對被陣列的結構進行精確成像。光學器件具有較高的數值孔徑和較低的失真,因此能夠精確地對極精細的細節進行陣列設計。光學器件還提供了較大的景深，使步進器可以在沒有失真的情況下對較小特征的重叠層進行陣列化。最後,NSR 2205EX 14C提供了一個綜合軟件包,用於管理光刻工具的整體操作。該軟件設計方便用戶和直觀，為用戶提供各種可定制的選項，從作業調度和數據管理到光子劑量監測和重要參數記錄。總體而言,NSR 2205 EX14C Wafer Stepper是一種用途廣泛、可靠且精確的光刻資產,可以在大面積上以非凡的精度繪制各種抗蝕劑的圖樣。這使得它成為廣泛光刻應用的理想選擇。
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