二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9364212 待售

ID: 9364212
KrF Stepper Chamber Control rack BMU Cymer Missing parts.
NIKON NSR 2205 EX14C是最先進的晶圓步進器。它是一種利用步進和掃描技術相結合的光刻設備,生產半導體器件,如微處理器,其特性尺寸極小。該系統能夠以亞微米精度打印窄至0.17微米的線條。NIKON NSR-2205EX14C具有先進的光學透鏡單元,可以實現被成像圖樣的高放大倍率。它利用激光幹涉儀來補償機器中的任何振動,從而在成像過程中達到最大精度。該工具包括一個自動對齊資產,使其能夠以高精度將圖樣圖像對齊到晶圓上。這樣可以確保批次的可重復性。它還具有一個正面對準模型,它使用一個照明十字準線來精確定位薄膜層在晶圓上。NSR-2205 EX14C還使用化學和機械穩定系統,以便在長時間的晶圓運行過程中保持較高的圖像質量和吞吐量。這包括防止圖像失真的化學剝離設備和維持系統溫度的熱交換器。設備的操作由圖形用戶界面(GUI)控制,該界面旨在輕松解釋設備參數。GUI具有直觀的設計,允許簡單高效的操作,確保用戶可以輕松開始生產並獲得高質量的圖像。GUI還附帶了一個橫截面圖像數據庫,以幫助分析晶圓過程。綜上所述,NIKON NSR-2205 EX14C是一個最先進的晶圓步進器,專註於提供高質量的圖像,並在批次中提供可重復的結果。它利用先進的光學系統、自動對準系統以及化學和機械穩定系統來幫助確保最高質量的結果。最後,使用直觀的GUI控制機器,使其易於理解和操作。
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