二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9375190 待售
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ID: 9375190
Stepper
CYMER ELS 5400 Laser
Missing parts:
Wafer loader unit:
Wafer loader: Type III
A-406 WLSP Waiting table plate
P/N: 4S015-151
Reticle loader unit
A-100 PW-NA, P/N: 4S001-062
A-105 PPD-DRV, P/N: 4S007-608
A-800 PW-NA OPD Unit
Stage unit:
Wafer holder
CT Pin
Power AMP Unit
P/N:
A-20P PW-NB, P/N: 4S001-063
A-216 ZTFP, P/N: 4S069-668
A-217 ZTDRV8, P/N: 4S018-137
A-220 EPFP, P/N: 4S069-668
A-224 ADDRV1, P/N: 4S018-317
ADE(Z) Power AMP unit
Alignment Unit
NC-PRE2 Unit
Cable
A-510 NK386SX4, P/N: 4S015-150
Lens control unit
Mouse
Inverter
CATC Filter guide
CATC Filter.
NIKON NSR 2205 EX14C是一種高精度、高容量的晶圓步進器。步進器結合了先進的自動化和增強的低功耗功能,並采用了新的階段設計,以實現卓越的工作效率。它具有可接受的晶圓尺寸範圍,在中心孔和柄標準配置中為8英寸至12英寸直徑。它的獨特之處在於高級自動化設備（HLAS）,它具有改進的側翻級、集成的熱板和集成的光學元件。這確保了高容量、高精度應用的最佳精度。步進器具有高度穩定的巖石固體掃描場。它具有快速、高分辨率的電機驅動，與機器人對準系統（RAS）采用高速信息交換，提高了運行穩定性。它還配備了最大波紋校正單元（Maximum Ripple Correction Unit，MRCS），使連續晶圓運動能夠在保持對齊的同時修正晶圓變形。這有助於高度精確的層對層叠加,而無需頻繁調整焦點。步進器有改進的運動控制機（MCS）和內置的對準工具（ALS）用於精確定位，以及0.25微米的最大非3維對準精度。它還具有改進的結果,暴露時間長,從而使聚焦深度更大。因此，NIKON在幾天內實現了業界最高的索引精度和穩定運行。步進器還具有高密度照明資產（HIS）和高功率照明禁用曲線（IC），用於改善照明均勻性和降低粒子水平。它還具有NIKON Exclusive Autoagitation&Etching （FX），設計用於腐蝕性流體的高效自動攪拌。這有助於模型提高產量並降低運營成本,而無需額外的人工幹預。NIKON NSR-2205EX14C晶片步進器還有一個先進的工藝控制設備，用於監測晶片的狀況，以確保最佳的制造產量和長期可重復性。該系統配備了參數和統計過程控制方法，以提供高度可靠的結果。最後，它還具有一個冷卻機制，以確保均勻的熱分布和保護機器的長期連續運行。
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