二手 NIKON NSR 2205 EX14C #9379629 待售

NIKON NSR 2205 EX14C是一種最先進的晶圓步進器,旨在實現晶圓的精確和均勻曝光。它具有14英寸、5微米分辨率、一流的浸入式光學器件和獲得專利的浸入式透鏡,能夠在超精細圖案方面實現極高的控制和精確度。NIKON NSR-2205EX14C專為潔凈室使用而設計,經過優化,可處理300 mm晶圓尺寸。它能夠實現高吞吐量和最大的工藝穩定性和晶片到晶片的變化。它具有5nm的對準精度和0.1nm的可重復性,並提供10nm結構的一次曝光。NSR-2205 EX14C由NIKON專用的多光束光學設備提供動力,該設備可通過單次掃描實現二維曝光。該系統還可實現低像差成像和透明區域的高透射率。展位采用創新的6度自由度單臂機構，實現單臂濾波掃描機構，提供更高的圖像穩定性和準確性。晶圓步進器還具有模塊化I/O板,支持多過程圖像捕獲和並行圖像處理。該設備提高了吞吐量,並在生產中引入了批對批一致性。步進器采用先進的高分辨率CCD相機,曝光時間有限,可以在不影響質量的情況下加快處理時間。NSR 2205 EX14C還包括配方樣式配置的配方控制操作,並支持多個配方的內存管理。它還包括檢測和消除有缺陷的暴露條件和暴露參數的檢測機。晶圓步進器支持使用可選的階段掃描儀，它可以在一次操作中對復雜的結構進行完全曝光。最後，各種附件和軟件可以充分利用晶圓步進器。NSR 2205 EX 14C是一種強大的工具,能夠實現精確和統一的處理。它是晶圓和其他基材上生產超細圖案和透明區域的理想選擇。