二手 NIKON NSR 2205 EX14D #293817938 待售
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ID: 293817938
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.65
Resolution: 250-400 nm
DCO: 40
Throughput (WPH): 99.
NIKON NSR 2205 EX14D Wafer Stepper是一種先進的晶圓光刻設備,用於在微結構的表面上創建電路。該設備具有完全集成的計算機控制的四級晶片掃描儀級系統,為其高效運行和準確性奠定了基礎。NIKON NSR-2205EX14D可以達到0.5 μ m的模式均勻性,最小線寬為0.6 μ m。對準精度高達0.8 μ m。NSR 2205 EX14D還包括一個極其明亮的NIKON曝光單元,它提供0.15 μ m的高功率紫外線光斑尺寸,以及精確的曝光,以達到超過1k音高的卓越最大圖像分辨率。該機配備了四種多級制圖和晶圓處理工藝,以及高水平的控制精度,包括控制溫度、氣體、端點、掃描速率和旋轉角度的能力。NSR-2205EX14D擁有一個最先進的光刻軟件,該軟件由一個獨特的SPC1軟件包組成,使用戶能夠編程、分析和修改抗曝光和晶圓對齊過程的參數,並生成報告。此外,該軟件可用於部署各種優化算法,以確保每個生產樣品的質量控制。該工具還利用其16通道線路發生器進一步鞏固結果。在安全性方面,NIKON NSR 2205 EX14D非常安全,經過精心設計,具有多種鎖定機制。此外,資產還配有丙烯酸(PMMA)彩色過濾材料,有助於防止使用有害化學材料。總之,NIKON NSR-2205EX14D是一種高度精確、安全的晶圓步進器,主要適用於半導體工業中薄膜電子和微結構的生產。它擁有四級、高度精確的晶圓掃描模型、強大的紫外線激光和SPC1軟件包,以確保其精密的功能達到最高效率。此外,它還通過其安全機制和濾色器提供了高度的保證。
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