二手 NIKON NSR 2205 i10C #9249692 待售

NIKON NSR 2205 i10C Wafer Stepper是一種用於半導體制造業的最先進的光刻工具。它具有各種特點，使制造商能夠生產出現代和先進微型電子產品的復雜特性。NIKON NSR-2205I10C是一種基於步進器的光刻設備，使用紫外線（UV）激光器和投影圖像在矽片上曝光光刻膠。利用固定磁場、多掃描或可編程掃描技術對晶片進行曝光，在兩種光刻模式下工作非常精確。它還包含先進的校準功能,可提供快速可靠的曝光操作。NSR 2205 i10C具有12英寸至200毫米石英晶片級,可處理多種基板,並具有1000 Hz的階段更新頻率,以增強性能。高速操作確保了快速準確的曝光，而雙源激光系統采用395 nm和405 nm紫外線激光器，波長可達6mJ/cm ²。這樣可以確保較小的分辨率和廣泛的曝光動態範圍。它還有一個高性能拋光器，每個曝光會話的還原比高達24層。NSR-2205I10C還配備了數據不變區域補償器，減少了手動匹配時間，有助於實現可重復和一致的性能。該裝置提供了逐場聚焦校正，保證了整個加工晶片的絕佳的曝光均勻性和抗蝕劑厚度精度。高效的冷卻機使晶片能夠快速冷卻，並防止溫度波動可能對抗蝕劑造成損害。此外,NIKON NSR 2205 i10C還具有多種優化功能,如直觀的機器控制選項、自動校準、步進和重復校準、曝光模式控制以及性能監控。所有這些組合為半導體器件的設計和制造創造了一個集成靈活的解決方案。NIKON NSR-2205I10C Wafer Stepper是一種高度先進且用途廣泛的光刻工具,非常適合那些希望生產尖端微型電子產品的制造商。資產的高級功能確保了精確準確的曝光、高效的進紙和高性能的光刻操作,為制造商提供了最終的光刻解決方案。