二手 NIKON NSR 2205 i11C #9224341 待售

NIKON NSR 2205 i11C是一種晶圓步進機，使用ArF（Argon Fluoride）激光光刻成像工藝。這臺機器是為半導體器件制造而設計的，特別是為了生產現代復雜的設計。它在當前所有光刻設計中提供卓越的成像效果。NIKON NSR-2205I11C是圍繞其兩個ArF激光光源建造的。這種激光由於其193nm的波長提供了極好的分辨率和避免交叉汙染。激光指向標線，標線是一塊薄薄的透明板，上面有不透明的圖案。標線板上的圖樣定義了晶圓上所需的圖樣。標線固定在一個校準臺上，在一個雙透鏡冷凝器下面，然後將激光聚焦到晶片上。NSR 2205 I 11 C上的晶片級設計用於晶片本身的精確移動和定位。其定位精度在1 ± m以內μ最大晶圓尺寸為200 mm。晶圓級裝有蔡司primoStar HD自動對準系統，用於精確調整測量。這允許晶片在舞臺上的精確配準，這使得模式從標線到晶片的精確對準。NIKON NSR 2205 I 11 C還具有廣泛的對齊標記，包括相移標記、瞳孔變異、環紋和對齊標記。這些特性允許在投影光刻過程中將光罩精確對準晶片。此外,NSR 2205 i11C的自動聚焦能力確保了晶圓上打印的照片掩模的圖樣能夠準確一致地產生。此外,NSR-2205I11C還具有易於使用的圖形用戶界面（GUI）。它還有一個預定義的對齊和曝光配方庫，可以存儲和檢索。此外，該晶片步進器還具有一系列智能傳感器，可用於準確監測工藝和環境條件。NIKON NSR 2205 i11C由於具有精確的成像和對準能力，是一種高效可靠的半導體器件制造工具。它的兩個ArF激光光源提供出色的分辨率，而其蔡司primoStar HD自動對準確保精確的晶圓定位和對準。智能傳感器和GUI增強了用戶控制，預定義的配方為快速高效的實施做出了貢獻，幫助生產復雜的設計。