二手 NIKON NSR 2205 i11D/12D #293794458 待售
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ID: 293794458
優質的: 1996
Stepper
Reticle size: 5"
Illumination WL: i-line
CD Unifortmity: 400 nm
Overlay: 70 nm
Illumination uniformity: 2.00%
Lens reduction: 1/5
1996 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D/12D是為先進的半導體光刻工藝設計的最先進的晶圓步進器。晶片步進器作為集成電路生產中的關鍵部件,在將電路模式以高精度、高精度傳遞到矽晶片上發揮著關鍵作用。NIKON NSR 2205 i11D/12D以其先進的技術、強勁的性能和無與倫比的可靠性而聞名,成為全球領先半導體制造商的首選。NIKON NSR 2205 i11D/12D的主要特點之一是其先進的投影鏡頭設備,這對於在晶圓表面上實現所需的分辨率和模式保真度至關重要。步進器采用了高數值光圈(NA)鏡頭設計,使其能夠投射出微米精度較高的精細圖案。透鏡的NA決定了步進器在晶片上解析小特徵的能力,而NIKON NSR 2205 i11D/12D的透鏡系統被優化以達到高分辨率光刻。除了先進的光學之外,NIKON NSR 2205 i11D/12D還配備了一個精密的對準和叠加控制單元,確保晶圓上多個圖案層的精確配準。步進器使用先進的對準傳感器和算法來精確對準和覆蓋不同的模式,從而可以創建具有多層電路的復雜集成電路。NIKON NSR 2205 i11D/12D還配備了先進的照明機器,在整個晶圓表面提供均勻高效的光照。這種均勻的照明對於確保一致的圖樣傳遞和最小化圖樣失真或缺陷至關重要。步進器的照明工具可以針對特定的光刻工藝量身定制,為各種類型的光刻材料提供最佳曝光條件。NIKON NSR 2205 i11D/12D的另一個關鍵方面是其吞吐量和生產率能力。步進器設計為高效處理大批量晶片,使半導體器件的大批量生產成為可能。NIKON NSR 2205 i11D/12D憑借其先進的階段技術和高速定位機制,能夠快速掃描和曝光多個晶圓上的圖樣,最大限度地提高半導體制造的生產率和產量。此外,NIKON NSR 2205 i11D/12D還集成了一系列高級自動化功能,包括機器人晶圓處理系統、自動校準例程以及實時監控功能。這些自動化功能簡化了光刻工藝,減少了人工幹預,並增強了整個工藝的可靠性和可重復性。總之,NIKON NSR 2205 i11D/12D晶圓步進器是一種領先的光刻工具,為半導體制造提供無與倫比的性能、精度和生產力。步進器具有先進的光學、對準控制、照明資產和自動化功能,可在矽片上陣列化復雜集成電路方面提供卓越的效果。半導體制造商依靠NIKON NSR 2205 i11D/12D推動半導體行業的創新和進步,使其成為生產尖端電子器件不可或缺的工具。
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