二手 NIKON NSR 2205 i11D #293587312 待售

NIKON NSR 2205 i11D是為半導體器件量產而設計的全場i線步進器。它利用NIKON原始I線光學器件、全場對準設備、精密級、多區自動溫度控制系統等高尖端技術和自動校準技術，實現了卓越的叠加精度。NIKON NSR-2205I11D步進器可提供低至5nm （45nm間距的）分辨率,並具有列內掃描技術以實現快速步進和重復時間。由於其先進的硬件和軟件,此步進器還提供了低擁有成本的高可用性。在光學上,NSR 2205I11D利用無色像差光學單元,利用全場對準機自動調整投影角和透鏡傾斜角,以確保圖像的最佳對準。光學工具還包括確保高精度聚焦的激光幹涉儀。步進器還配備了測距激光選項，使其能夠在開始成像前精確對準鏡頭。步進器的多區自動溫度控制資產優化了舞臺溫度，在亞微米級實現了卓越的成像穩定性，成為超精密成像和光刻的絕佳選擇。此外,多區域晶片卡盤可提供穩定的晶片水平,並在每個成像步驟之前檢查晶片,從而實現可重復和一致的圖像。NSR 2205 i11D還配備了高級軟件，允許自動化和優化的設置處理。步進器配備了一系列校準功能，包括自動散焦以確保最佳圖像質量，以及全自動對焦調整算法和自動校準技術以實現最高的過程重復性和叠加精度。總體而言,NIKON NSR-2205 I11 D是量產半導體器件制造的絕佳選擇,它采用先進的I線光學、全場對準、測距激光、自動溫度控制和精密軟件算法,以確保高精度、重復性和低擁有成本。