二手 NIKON NSR 2205 i11D #293606711 待售
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ID: 293606711
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Resolution: 0.35
NA: 0.63
Exposure wave length: i-Line
Reduction: 1/5
Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2.
NIKON NSR 2205 i11D是為半導體器件制造和其他晶圓制造而設計的高性能步進器。步進器的設計目的是通過從0.2到45.0 μ m的極寬的曝光變化範圍提供精確和可重復的微加工結果。步進器還具有極低的對準位置精度0.05 μ m,是高精度加工和先進技術開發應用的理想選擇。NIKON NSR-2205I11D具有專有的圖像定心設備,可確保在各種曝光場和基板尺寸上的精確對準和定位精度。該定心系統還補償基板的扭曲、運動誘導的位置誤差和標線刷新散焦,以提供高度準確和可重復的性能。步進器還配備了智能測量單元,在單次曝光時提供詳細的晶圓觀測、評估和反饋。簡單直觀的用戶界面使NSR 2205I11D易於使用和管理。用戶友好的控制部分允許快速、直觀地訪問所有步進參數,以及針對各種處理條件進行詳細的校準和維護。直觀的圖形用戶界面(GUI)支持用於簡單設置和控制的自動化配方,並具有可視化處理審查和可追蹤性。NIKON NSR-2205 I 11 D的另一個核心特點是其先進的光學機器,提供了具有卓越對比度和清晰圖像的幹凈成像領域。通過使用相移技術,步進器能夠在較大的曝光場上產生極低缺陷密度和高對比度的光掩模。此外,它的高速、低功耗掃描能力可確保每小時可處理多達4.5個晶圓。步進器內置的溫度補償和寬闊的工作區域進一步增強了這一能力。總體而言,NSR 2205 I 11 D是一種功能強大、可靠且用途廣泛的步進器,旨在在半導體器件制造和其他晶圓工藝中提供精確、高質量的結果。它非常可靠,對準位置精度特別低,為0.05 μ m,每小時可處理多達4.5個晶圓。NSR-2205 I11 D具有簡單易用的用戶界面和先進的光學工具,是高精度和先進技術開發應用的絕佳選擇。
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