二手 NIKON NSR 2205 i11D #293607244 待售
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單擊可縮放
ID: 293607244
Stepper
Lamp illumination:
Average power: 560.407 mW/cm²
Uniformity: 1.026%
X-Y Axis:
Maximum: 0.039, 0.028
Minimum: -0.039, -0.053
Lens distortion within ±0.050 µm
Field inclination:
Max-min within 0.230 µm
Curvature within -0.029 µm
UL-LR, UR-LL within 0.012, 0.092 µm
Stepping accuracy:
Stepping: 3δ≤45 nm - X:18, Y:42
Backlash: 3δ≤45 nm - X:28, Y:42
LSA-EGA
3δ+|X|≤70 nm
Mean-X/3δ: 23
Mean-Y/3δ: 12
3δ+|X|: 14
3δ+|Y|: 32
FIA-EGA
3δ+|X|≤70 nm
Mean-X/3δ: 8
Mean-Y/3δ: 26
3δ+|X|: 21
3δ+|Y|: 20.
NIKON NSR 2205 i11D是NIKON製造的頂級晶圓步進器。它是一個全自動的精密對準機器,允許精確控制晶圓的暴露。晶片步進器配備了優化的光學設備和運動控制系統,使其成為精細和高精度曝光處理的高效工具。精確的光學單元旨在減少暴露參數的偏差,並確保均勻暴露的表面能夠優化吞吐量和產量。該設備的工作原理是將掩碼投射到晶片上,並使用精確的曝光設置在晶片表面上創建陣列。然後使用步進電機將投影模式應用於晶片,該步進電機移動投影區域。NIKON NSR-2205I11D包括高精度伺服電動機和提供精確位置反饋的編碼器。這種組合允許精確的曝光設置和優化的精度水平。晶片步進器最大可處理8英寸晶片,在1ð的曝光角度上最大模式精度為1.9um。NSR 2205I11D設計壽命長、設計可靠、維護時間短,因此能夠降低停機時間和維護成本。它還具有自動預對齊器,可確保精確對齊,即使步進器未進行校準。該設備配備了一個用戶友好的界面以及全方位的輸入和輸出選項,能夠方便的控制和監控。該機器還可以通過以太網連接到其他NIKON機器。NSR 2205 I11 D是一種綜合性晶片步進器,可提供精確、可靠的曝光處理和提高吞吐量。其優化的光學機器和運動控制工具可實現最佳的模式精度和可靠性,而其高精度的電機和編碼器則可實現精確的對準。NSR 2205 i11D專為長期可靠性和低維護成本而設計,是要求苛刻的曝光過程應用程序的理想步進器。
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