二手 NIKON NSR 2205 i11D #293609472 待售
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ID: 293609472
Stepper
Resolution: 0.4 µm
DOF: 0.6 µm
Total focus deviation: ≤0.4 µm
Lens inclination: ≤0.2 µm
Lens distortion: Within ±50 nm
Focus control accuracy: Within ±0.15 µm
Illumination uniformity: Within ±2.5%
Power: 700 mW/Cm²
Reticle blind setting accuracy: Within +0.40 mm to +0.80 mm
Reticle rotation: |x|+3s≤20 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 s
Stepping precision: Within 0.040 µm (3σ)
Alignment accuracy (LSA, FIA): |Mean|+3s <0.085 µm
Wafer pre-alignment repeatability: Within ±1.5 s
Wafer flatness: <0.8 µm.
NIKON NSR 2205 i11D晶片步進器是一種高度先進的自動步進設備,用於先進的光刻工藝,以及半導體晶片的高質量成像。該系統利用超高分辨率數碼相機獲取半導體元件的最高質量圖像,然後使用精密步進電動機將光掩模和晶圓基板精確放置在所需位置。然後,NIKON NSR-2205I11D將這些圖像傳送到高度先進的自動步進處理器,該處理器旨在確保多個晶圓尺寸和光掩碼配置的準確性和一致性。該單元將精度、準確性和可重復性與減少周期時間和盡量減少浪費的機器資源相結合。這是通過結合高級功能(如高級加載工具、雙軸接口和橫向移位)來實現的。雙軸資產允許光刻工藝更精細的圖像分辨率和更大的吞吐量,每個軸的運動範圍為30微米,精度為正負1.4微米。橫向移位特征可用於不同尺寸的晶片,允許任意尺寸基板的連續步進。NSR 2205I11D具有獨特的驅動器模型,可確保光掩碼和晶圓傳輸的高吞吐量。它采用雙電機同步功能,可降低步進過程中晶圓碰撞的風險。步進器還提供先進的晶圓提升能力,通過位置控制晶圓提升,從而實現盡可能高的精度。設備提供每像素0.75像素的相對步進精度,每像素0.5像素的相對精度。NIKON NSR 2205 I11 D采用先進的通信系統設計,集成了在線監控和診斷功能。這使得運算符能夠跟上設備性能,快速、及時地調試潛在問題。此外,該機器還設計了一個控制軟件套件,可提供靈活的用戶控制以及全面的工具數據分析和報告。NSR-2205 I11D是一種先進的自動步進資產,非常精確,可確保高吞吐量以獲得最佳的成像結果。該模型專為半導體制造商和光刻工藝而設計,是這些應用行業中最受歡迎的系統之一。其先進的功能使其成為那些尋求可靠、準確和高效的自動步進設備的人的理想選擇。
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