二手 NIKON NSR 2205 i11D #293619535 待售

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 293619535
晶圓大小: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR 2205 i11D是一種高度先進的晶圓步進器,旨在支持半導體和納米技術行業的先進量產需求。這種步進器可靠性高、精度高、速度快,非常適合微電子器件的高通量預生產和批量生產。步進器具有許多功能,使其性能遠遠優於其他型號。NIKON NSR-2205I11D的光學系統使用先進的專有光學技術在基板上應用電子和光子。這樣可以確保以最小的汙染或變形精確放置圖樣。步進器還提供快速的舞臺運動、精確的對準和快速的曝光。步進器有三個級,它們的精度和一致性可重復性可高達1.5 μ m/sec。這使得它能夠以精確和統一的方式在基板上準確和快速地放置圖樣。該級還采用低EMI濾波器設計,以減少晶圓步進過程中的噪聲和EMI幹擾。步進器采用先進的CCD對準設備,提供卓越的精度和可重復性。這種自動校正系統補償了錯位,使得步進器高度可靠。該單元還監視基板高度,以保持每個圖案化層的最佳條件。NSR 2205I11D步進器利用了強大的晶圓處理器和基板定位機.晶圓處理器最多可控制五個6英寸晶圓,並能夠將材料直接放置在基板的頂部和底部兩側。基板定位工具能夠以高達9毫米/秒的速度移動基板,這有助於確保材料的精確放置。總體而言,NIKON NSR 2205 I11 D是一種先進的晶圓步進器,旨在滿足半導體和納米技術行業先進批量生產工藝的需求。其優越的光學性能、快速的舞臺運動、精確的對準、靈活的晶圓處理程序以及基板定位資產,使其成為高吞吐量預生產和生產過程的理想選擇。
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