二手 NIKON NSR 2205 i11D #293691303 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一種用於半導體制造的最先進的晶圓步進器。它具有先進的I-Line減速鏡頭設備、F2控制汽車生命安全功能、高分辨率和吞吐量以及全新的C1優化功能,以增強傳輸特性。這種晶片步進器能夠在375nm至450nm的光源下工作，因此適合應用最現代的光刻工藝。它為您提供了廣泛的曝光值,從0.1 mJ 100mW到超過5mJ （5000mW）。另外，步進器共有11個視場，並擁有共9個通道，具有3維奈奎斯特匹配和二進制編碼，從而允許每個站點的選擇性曝光。NIKON NSR-2205I11D的核心是具有自動匹配對準傳感和微調跟蹤系統的6通道光束,可實現所有模式場點的精確對準。步進頭還配有激光幹涉儀，用於精確定位圖樣場，以獲得更高的高度精度。NSR 2205I11D還提供了出色的重復性和可靠性，因為它的剛性和剛性安裝組件和其集成的晶圓卡帶傳送單元。步進頭在低振動環境中工作,確保所有關鍵部件保持靜止和穩定,從而提高吞吐量,減少打印錯誤。總體而言,NSR-2205I11D提供卓越的性能、出色的可重復性和廣泛的實用程序,使其成為半導體生產的理想工具。步進器的高分辨率和吞吐量、總體視野和優化的控制機為用戶提供了卓越的控制水平、準確性和靈活性。此外，其低振動環境和優越的濕蝕刻效果有利於實現低產量損失。