二手 NIKON NSR 2205 i11D #293762479 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一種先進的精密晶片步進器，設計用於所有類型的光刻、掩模對準和處理應用。步進器最大速度5 m/s，精度5納米，分辨率0.31微米。NIKON NSR-2205I11D利用各種波長的4象限輻射源，包括248nm、193nm和157nm。步進器還支持各種口罩和光掩模,最大尺寸可達200 mm x 200 mm。它包括一個集成的視覺系統，允許復雜的模式被精確覆蓋到晶圓上。步進器有一個內置的腔室進給系統，維持最佳的製程條件，以及一整套安全系統，使腔室可以在不同的製程間安全切換。NSR 2205I11D擁有高通量CCD相機，可以有效控制曝光時間、光束大小和能量以及舞臺運動。步進器與所有標準現場總線系統兼容，並與強大的軟件套件集成在一起，用於校準、數據管理和可視化。它還具有自動對齊功能，可用於通過精確對齊晶片和掩碼來最小化未對齊。NIKON NSR-2205 I 11 D有一個簡單的維護協議，並配備了一個大的工作區域，使並行轉向最多可同時8個場。最後，它提供了創建個性化系統設置的能力，以滿足特定應用的需求，讓用戶最大限度地提高吞吐量，達到最高水平的光刻精度。