二手 NIKON NSR 2205 i11D #293763395 待售

NIKON NSR 2205 i11D晶片步進器是一種精密光刻儀器，設計用於半導體器件制造。最小分辨率0.28微米，最大曝光面積220毫米x 220毫米。NIKON NSR-2205I11D利用其專有的應用劑量控制（ADC）自動暴露設備,確保無論暴露情況如何,均可重復準確地暴露結果。為了精確的模式定位和對齊,NSR 2205I11D配備了雙標線自動對焦系統.這種健壯的單元具有手動和自動搜索模式，能夠快速和方便地獲取目標模式與小視野。對準精度估計為0.1微米（3西格瑪）。配備11英寸投影光學器件和NIKON先進的5倍減振機，NIKON NSR 2205 I 11 D的投影場尺寸為2.2 um/放大步長。微型投影光學器件允許在較大的區域使用較高分辨率的圖樣,並減少焦點深度（DOF）。投影鏡頭的可編程變焦範圍為0.2至3.0，聚焦範圍為0.1至4.2毫米。NSR-2205I11D可以利用這一放大倍數範圍,使用所謂的「橫向移位能力」,允許在不同放大倍數下使用相同的掩模,而無需完全旋轉卡盤。在吞吐量方面,NSR 2205 I11 D具有較低的跟蹤時間,步長為0.6秒,曝光時間為0.2秒。NIKON NSR 2205I11D具有很高的模式均勻性，能夠產生較好的產品產量，且汙染和返工操作較少。此外,它的高級對齊和叠加功能可實現高水平的產品放置精度和批量復制。這使得成本更高的方格對齊方式得以避免，這有助於提高成本效率。綜上所述，NSR-2205 I11 D晶片步進器是一種先進的光刻工具，旨在在廣泛的生產條件下產生優異的效果。NSR 2205 I 11 D配備了小型但堅固的投影鏡頭、雙標線自動對焦資產和先進的5 X減振模型,能夠產生高達0.28微米的分辨率,並以0.6秒的步長和0.2秒的曝光時間提供卓越的產品產量。這除了其出色的對齊和覆蓋精度外，使其成為設備制造的理想選擇。