二手 NIKON NSR 2205 i11D #293799138 待售
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ID: 293799138
Stepper
Total focus deviation: 0.263 µm
Astigmatism: -0.21 µm
Reticle blind: 0.5 mm to 0.7 mm
Focus calibration repeatability: 36 nm
Exposure power: 776.520 mW/cm²
Integrated exposure control: ≤1.0%
Illumination uniformity: 1.177%
Reticle rotation: 10 nm
Orthogonality: 0.074 sec
Wafer flatness: 0.89 µm
Inclination:
UR-LL: 0.051 µm
UL-LR: 0.006 µm
Pre-alignment repeatability:
X: 5.027 µm
Y: 6.615 µm
Y-Theta: 14.906 µm
Lens distortion:
X: 0.032 to 0.033 µm
Y: 0.026 to 0.020 µm
FIA Overlay:
X: 32 nm
Y: 28 nm
LSA Overlay:
X: 57 nm
Y: 31 nm
Stepping accuracy:
X: 22 nm
Y: 25 nm.
NIKON i11D是一種晶圓步進器，旨在降低成本，提高半導體器件生產效率。它是具有先進技術的頂級晶圓步進器，得到了世界領先半導體制造商的信任。NIKON I 11 D具有內置的多層結構，具有高精度的加工和速度。它使大型和厚基板能夠對齊和加工到最高標準。這款最先進的設備配備了先進的自動重復機構和進一步優化性能的基板反向對準機構。I11D還擁有一個完全自動化的過程，無需手動調整。它提供了多種功能,有助於最大限度地提高生產效率和效率。I11D采用板載多光束激光監測器、位置檢測系統和過程控制軟件,在保持過程精度的同時,減少了手動校正的需要。NIKON i11D還擁有快速註冊流程，使常規和新基板對準流程都快速可靠。它還配備了自動回流機構和動態熱控制單元，有助於確保機器的無縫運行。最後，NIKON I 11 D附帶了一個先進的用戶界面和軟件，方便直觀的操作。用戶友好的GUI （Graphical User Interface）旨在簡化復雜的流程,同時為正常操作提供指導。軟件也不斷更新，以包括最新的功能和技術。總之,i11D是一個頂級的晶片步進器,它提供卓越的功能以提高生產率和可靠性。它配備了最先進的技術,在優化性能的同時減少了手動調整的需求。它的用戶界面和軟件與最新趨勢和功能保持同步,使工具更易於使用和理解。I 11 D非常適合高精度應用,並且可以信任它提供最高質量的結果。
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