二手 NIKON NSR 2205 i11D #293831519 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一種高級光刻設備，用於光刻過程中對準和曝光半導體芯片。該系統具有先進的暗室,可實現晶圓的最佳曝光,以及用於精確控制刀具的自動對準機制。步進器由先進的300 mm掃描儀組成，提供快速的掃描速度、高分辨率和優越的鏡頭性能。它使用激光對準單元，實現高精度晶片對準，即使有扭曲的晶片。NIKON NSR-2205I11D配備了高精度XYZ傳輸機,可實現高精度對準以及對所有刀具功能的實時控制。晶片級配有改進的晶片旋轉控制資產，確保對準機構始終與晶片完美協調。它還有一個雙區域叠加模型，允許高精度曝光和對準。此外,步進器還具有多種安全功能,可確保操作過程中的最佳安全性。NSR 2205I11D還具有廣泛的晶圓級功能,可用於復雜的宏編程。它擁有高精度的聚焦控制設備和先進的分辨率控制系統，用於穩定晶圓聚焦和校正失真、傾斜和其他像差。步進器還能夠進行自我診斷，並能從波束和其他意外事件中快速恢復。NIKON NSR 2205 I11 D還內置了一個多位置曝光單元,可同時處理多達五層。它具有減少顆粒沈積和最小化背景噪聲的綜合功能。此外，該機器與油基和水基抗蝕劑兼容，在選擇光掩模時允許更大的靈活性。NSR 2205 I11 D設計易於集成到現有的光刻工藝中。它體積小巧,占地面積減少,便於在任何晶圓處理實驗室中安裝。此外，其高效的功耗、先進的冷卻系統和優越的鏡頭性能使其操作成本效益高，而其高精度的控制則使其極為可靠。其先進的功能使其成為要求系統提供最高精度和性能的石版畫家的絕佳選擇。