二手 NIKON NSR 2205 i11D #9160391 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一種晶圓步進器，用於顯微光刻工藝。該步進器具有準分子激光光源（248 nm波長），用於低反射和吸收特性。該設備還有一個減少投影光學元件，使用兩個透鏡來減少標線圖像，並且與暗場、光場、焦點變化以及亮場等技術兼容。該激光器可實現高達300 ns的脈沖寬度的高功率可變光脈沖長度,非常適合用於可靠的陣列。這臺機器有53 x 63厘米的大桌子尺寸，能夠處理直徑達200毫米的大晶片。為確保精確對準,它沿x和y軸的圖樣定位精度為0.5 μ m,場平面度為0.2 μ m,舞臺可重復性≤ 0.5 μ m。它能夠處理高達900 mJ/cm2的高功率激光曝光劑量。為了進一步提高生產率和吞吐量,它可以處理多達1000個晶圓/小時。NIKON NSR-2205I11D有一個用戶友好的控制面板，帶有直觀的GUI，以更方便用戶。該系統還與Auto-Tune等幾種先進技術集成在一起，Auto-Tune是一種自動調整設備參數以提高精度和減少浪費的功能。此外,使用集成的Auto Recipe功能可以加快作業初始化和提高機器精度。這種先進的晶片步進器帶有預先安裝的Align-Checker引擎，它提供了孔檢測和額外的圖像分析功能。它還具有邊緣檢測功能，旨在檢測薄膜區域的處理缺陷。另一個有用的功能是Serial Number Identity,它可以自定義作業編號和跟蹤代碼。NSR 2205I11D是一種可靠、高性能的晶圓步進器，非常適合半導體器件生產。它的高級功能和自動化功能大大提高了生產率和精度，而直觀的用戶界面使得它非常容易使用。